nipponsteel日本制鐵用于半導(dǎo)體制造的NSCP/清潔管道的資料

高平滑性

清潔管所要求的一個(gè)特性是內(nèi)表面的平滑性。附著在凹凸上的粉塵、水分等會(huì)污染半導(dǎo)體制造氣體，導(dǎo)致半導(dǎo)體產(chǎn)品的成品率下降。NSCPN·D·S采用提高平滑性的拉拔技術(shù)進(jìn)行加工后，除了維持其平滑性的“光輝熱處理(BA)精加工"外，還采用“微細(xì)加工"準(zhǔn)備了3種光澤:將顆粒和油分去除到極限的BAS精加工"“實(shí)施了業(yè)界最高水準(zhǔn)的平滑性而自豪的電解拋光的EPS精加工。NSCPA在焊接制造管時(shí)，采用醫(yī)用配管培養(yǎng)的內(nèi)表面焊道平滑技術(shù)，然后通過機(jī)械研磨(MPS)或電解研磨(EPS)進(jìn)行精加工，實(shí)現(xiàn)了與普通焊接管不同的高內(nèi)表面平滑性。

AP處理

表面照相

BA處理

表面照相

EP處理

100 微米表面照相

高耐食性·高清浄性

在大量使用腐蝕性高的氣體的半導(dǎo)體制造中，配管和焊接部的腐蝕直接導(dǎo)致裝置壽命下降和半導(dǎo)體制造的成品率下降。NSCP系列根據(jù)腐蝕環(huán)境，提供高耐腐蝕Ni基材料(NSCPN)、雙熔高純度材料(NSCPD)和單熔材料(NSCPS)。全部在日本制鐵集團(tuán)-貫的高品質(zhì)管理下制造，實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定的耐腐蝕性、清潔性。

真空誘導(dǎo)溶解

CVIM)

真空電弧重熔

(VAR)